| |
 |
![]() |
장비명
고분해능전계방출형주사전자현미경(HR FE-SEM)
|
영문명
High Resolution Field Emission Scanning Electron Microscope
|
|
|
|
| |
![]() |
모델명 |
MERLIN (Carl Zeiss) |
|
![]() |
|
원 리 |
전자빔을 시료에 주사하여 시료로부터 발생한 이차전자와 후방산란전자로 이미지를 획득하고, X-ray를 이용하여 성분분석을 하는 장비임. 본 기기원 보유 타 장비 대비 고해상도의 이미지를 얻을수 있다. |
|
![]() |
|
주요성능 |
-Electron Gun : Thermal field emission type
-Resolution
0.8 nm @ 15kV
1.4 nm @ 1kV
3.0 nm @ 20kV at 10nA, WD=8.5mm
-Magnification : 12~2,000,000x
-Probe current : 10pA~300nA
-Detector : In-lens, SE2, EsB, BSD, EDS(OXFORD X-MAXN, Active Window 50mm2) |
|
![]() |
|
용 도 |
시료표면의 수nm단위로 포함된 물질을 이미지로 관찰 및 성분분석 |
|
![]() |
|
담당자 |
정다이 |
|
![]() |
|
담당자 연락처 |
031-201-3983 |
|
![]() |
|
위 치 |
SEM/EDX실(공대121호) |
|
![]() |
사용요금 (외부는 2배적용)
| 내용 |
금액 |
단위 |
| 전처리(Pt) |
15000 |
회(3분) |
| 기본요금 |
20000 |
회 |
| FE-SEM 이미지관찰 |
80000 |
시간 |
| EDS Point & ID |
15000 |
회 |
| EDS Mapping & linescan |
20000 |
회 |
|
|
![]() |
|
기타사항 |
|
|
![]() |
| |
|