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장비명 구면수차 보정 투과전자현미경(Cs-TEM)
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영문명 Cs-Corrector TransmissionElectron Microscope(Cs-TEM)
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모델명 |
JEM-ARM200F |
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원 리 |
Electron Gun에서 발생된 전자빔을 집속시켜 시료의 미소영역에 조사하여 투과 또는 회전되는 전자빔을 통해 시료의 morphology, 내부구조, 결정구조, 원자 배열 등을 분석하는 장비. 또 X-ray를 이용해 미소영역의 화학적 성분을 정성 . 정량 분석이 가능.
구면 수차를 보정 할 수 있는 수차보정장치(Cs-Corrector)와 STEM/TEM 기능을 기본 장착하여 고분해능, 고휘도 등 원자단위의 미세구조 확인이 가능.
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주요성능 |
1. Resolution
- TEM Point image: 0.23 nm
- TEM Lattice image: 0.10 nm
- Information limit: 0.11 nm
- STEM BF image: 0.078 nm
- STEM DF image: 0.078 nm
2. Electron gun : Cold field emission gun (Cold FEG)
3. Aberration corrector
- STEM: NEO ASCOR HOAC
- TEM: CETCOR with DSS
4. Magnification
- TEM LOW MAG mode : x50 to x50,000
- TEM MAG mode : x2,000 to x2,000,000
- TEM SA MAG mode : x8,000 to x800,000
- STEM MAG mode: x20,000 to x150,000,000
- STEM LOW MAG mode : x200 to x15,000
5. EDS(Energy Dispersive X-ray Spectroscopy)
- Dual SDD EDS system
- EDS Solid angle : > 1.75sr. Specimen tilting X/Y
6. CCD Camera : Gatan One view (4k x 4k, 25 fps live video)
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용 도 |
- 시료의 구조형태 및 미세영역의 결정구조분석
- Atomic Level의 STEM 분석
- 결정구조 분석을 위한 전자회절 분석
- 화학성분 분석을 위한 에너지 손실 전자 분광법 (EDS) |
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담당자 |
김소예 |
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담당자 연락처 |
031-201-3980 |
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위 치 |
생명과학대학 114-2호 |
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사용요금 (외부는 2배적용)
내용 |
금액 |
단위 |
이미지관찰 |
200000 |
시간 |
EDS |
40000 |
회(최대 30분) |
Powder sampling |
5300 |
시료 |
Cu grid |
4200 |
개 |
Ni grid |
5300 |
개 |
Lacey grid |
8400 |
개 |
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기타사항 |
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