장비명
구면수차 보정 투과전자현미경(Cs-TEM)
영문명
Cs-Corrector TransmissionElectron Microscope(Cs-TEM)
  
 
모델명 JEM-ARM200F
원 리 Electron Gun에서 발생된 전자빔을 집속시켜 시료의 미소영역에 조사하여 투과 또는 회전되는 전자빔을 통해 시료의 morphology, 내부구조, 결정구조, 원자 배열 등을 분석하는 장비. 또 X-ray를 이용해 미소영역의 화학적 성분을 정성 . 정량 분석이 가능.  
구면 수차를 보정 할 수 있는 수차보정장치(Cs-Corrector)와 STEM/TEM 기능을 기본 장착하여 고분해능, 고휘도 등 원자단위의 미세구조 확인이 가능.
주요성능 1.  Resolution 
 - TEM Point image: 0.23 nm
 - TEM Lattice image: 0.10 nm
 - Information limit: 0.11 nm
 - STEM BF image: 0.078 nm
 - STEM DF image: 0.078 nm
2. Electron gun : Cold field emission gun (Cold FEG)
3. Aberration corrector 
 -  STEM: NEO ASCOR HOAC
 -  TEM: CETCOR with DSS
4. Magnification
 - TEM LOW MAG mode : x50 to x50,000
 - TEM MAG mode : x2,000 to x2,000,000
 - TEM SA MAG mode : x8,000 to x800,000
 - STEM MAG mode: x20,000 to x150,000,000
 - STEM LOW MAG mode : x200 to x15,000
5. EDS(Energy Dispersive X-ray Spectroscopy)
 - Dual SDD EDS system
 - EDS Solid angle : > 1.75sr. Specimen tilting X/Y
6. CCD Camera : Gatan One view (4k x 4k, 25 fps live video)



 



 


 
용 도  - 시료의 구조형태 및 미세영역의 결정구조분석 
-  Atomic Level의 STEM 분석 
-  결정구조 분석을 위한 전자회절 분석 
-  화학성분 분석을 위한  에너지 손실 전자 분광법 (EDS)
담당자 김소예
담당자 연락처 031-201-3980
위 치 생명과학대학 114-2호
사용요금 (외부는 2배적용)
내용 금액 단위
이미지관찰 200000 시간
EDS 40000 회(최대 30분)
Powder sampling 5300 시료
Cu grid 4200
Ni grid 5300
Lacey grid 8400
기타사항