장비명 고분해능 전계방출형주사전자현미경 2 (HR FE-SEM 2) 영문명 High Resolution Field Emission Scanning Electron Microscope 2      모델명 Gemini360 (Carl Zeiss) 원 리 전자빔을 시료에 주사하여 시료로부터 발생한 이차전자와 후방산란전자로 이미지를 획득하고, X-ray를 이용하여 성분분석을 하는 장비임. 본 시스템은 바이오 시료 및 비전도성 시료의 관찰이 가능하도록 저압으로 작동이 가능하며, 저압에서 이미지 관찰을 할 수 있는 전용 검출기가 장착되어 있음. 이를 통해 고압에서 분석이 힘든 바이오시료를 분석하거나 별도의 코팅없이 비전도성 시료의 관찰이 가능하여 더 넓은 영역의 시료에 대응이 가능하도록 구성되어 있음. 주요성능 * Electron Gun : Thermal field emission type - Resolution     0.7 nm @ 15kV    1.2 nm @ 1kV - Magnification : 10~2,000,000x - Probe current : 3pA~20nA - Detector : In-lens, SE2, EsB, BSD, EDS(OXFORD),VP 용 도 미소영역에 대한 이미지 관찰은 물론 다양한 분석기기를 활용하여 시편의 원소와 결정구조분석 등 다양한 미세구조분석에 활용 담당자 정다이 담당자 연락처 031-201-3983 위 치 공과대학 실험동 B109호 사용요금 (외부는 2배적용) 내용 금액 단위 전처리(Pt) 15000 회(3분) 기본요금 20000 회 FE-SEM 이미지관찰 80000 시간 EDS Point & ID 15000 회 EDS Mapping & linescan 20000 회 기타사항 2022년 교비과제로 2024년에 설치됨