| X-선 광전자 분광분석기 (XPS) | X-ray Photoelectron Spectroscopy | K-Alpha (Thermo Electron) | 분석장비 |
| X-선 광전자 분광분석기 (XPS) II | X-ray Photoelectron Spectroscopy | NEXSA G2 | 분석장비 |
| 고출력 X-선 회절분석기 (18kW XRD) | X-Ray Diffractometer (18kW) | M18XHF-SRA (Mac Science) | 분석장비 |
| 초순수 제조장치 (Ultra Pure Water) | Ultra Pure Water purification System | Milli-Q Academic System (Millipore) | 분석장비 |
| 열분석기 (TGA/SDT) | Thermal Analyzer | TGA Q5000 IR / SDT Q600 (TA) | 분석장비 |
| 공간오염 측정기 (Survey Meter) | Survey Meter | Model-3 with M44-6 (Ludlum) | RI측정장비 |
| 표면오염 측정기 (SC Monitor) | Surface Contamination Monitor | RADOS Microcont (RADOS) | RI측정장비 |
| 초고해상도 공초점 레이저 현미경 | Super-resolution Confocal laser scanning microscope | LSM 980 | 분석장비 |
| 고성능 이온 크로마토그래프(RFIC) | Reagent-Free Ion Chromatograph | ICS-5000(ThermoFisher Scientific) | 분석장비 |
| 래디알 밀링 머신 (Radial Milling) | Radial Milling Machine | SH-40 | 가공장비 |
| 순수제조장치 (Pure Water) | Pure Water purification System | aquaMAX (Young Lin) | 분석장비 |
| 유압식 기계톱 (Sawing Machine) | Oil Hydraulic Sawing Machine | MH812LC (COSEN) | 가공장비 |
| NC 선반 (NC Lathe) | Numerically Controlled Lathe | PL-10 SNC (SMEC) | 가공장비 |