장비명 X-선 광전자 분광분석기 (XPS) II 영문명 X-ray Photoelectron Spectroscopy      모델명 NEXSA G2 원 리 시료의 표면에 X선 광전자를 조사시켰을때 방출된 전자를 분석하여 시료표면의 정성,정량 및 원소의 화학결합상태를 측정 주요성능 1. High performance XPS system for surface analysis techniques. 2. The system should be supplied for below facilities :    1) Micro-focused Monochromated XPS    2) Charge compensation for insulator analysis    3) Depth profiling     4) XPS Image    5) Advanced small area XPS    6) Data system for data acquisition &  data processing    7) The system should be fully automated from sample loading to          report generation 3. All the materials used in the construction of vacuum system are       UHV compatible. 4. All the welding are tungsten inert gas welding, all the chamber and      connecting walls should be  chemically clean to minimize outgas.  5. The system is bakeable up to 100 C or more.  6. Automatic Calibration and alignment always available by data      system. 용 도 -반도체 표상 및 성분 분석 -촉매, 세라믹등의 산화상태 확인 -시료 표면의 정성, 정량 분석 -고분자 복합재료 연구 담당자 함현숙 담당자 연락처 031-201-3977 위 치 X선 광전자분광기실(121호) 사용요금 (외부는 2배적용) 내용 금액 단위 기본분석 60000 포인트(원소5개) 추가분석 (기본) 10000 포인트(원소1개) Depth Profile 130000 포인트(원소3개) 추가분석 (Depth Profile) 50000 포인트(원소1개) Ar Ethching 20000 회 기타사항 타대, 기업체  : 교내 요금의 2배 적용