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장비명
전계방출형주사전자현미경 (FE-SEM)
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영문명
Field Emission Scanning Electron Microscope
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모델명 |
LEO SUPRA 55, GENESIS 2000 (Carl Zeiss, EDAX) |
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원 리 |
- 일반적인 현미경인 열전자방출방식의 Gun과 달리
electron source인 filament metal 표면에 강한
electric field를 걸어주어 전자를 방출시키는 gun type의
현미경 |
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주요성능 |
- Electron Gun : Thermal field emission type
- Resolution : 1.0 nm @15kV
1.7 nm @1kV
4.0 nm @0.1kV
- Magnification : 12x to 900,000x
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용 도 |
- 고해상도를 요구하는 박막재료
- 나노파티클의 관찰 및 성분분석
- 폴리머의 표면 관찰 |
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담당자 |
김한비 |
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담당자 연락처 |
031-201-3983 |
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위 치 |
공과대학 실험동 B109호 |
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사용요금 (외부는 2배적용)
| 내용 |
금액 |
단위 |
| 전처리(Pt) |
15000 |
회(3분) |
| FE-SEM측정(기본) |
20000 |
회 |
| FE-SEM측정(추가) |
60000 |
시간 |
| EDS정성정량 |
12000 |
회 |
| linescan/mapping1 |
16000 |
회 |
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기타사항 |
* EDX요금은 분석전용으로 사용시 적용, SEM과 동시 측정시 할인적용 |
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