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장비명
X-선 광전자 분광분석기 (XPS)
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영문명
X-ray Photoelectron Spectroscopy
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모델명 |
K-Alpha (Thermo Electron) |
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원 리 |
시료의 표면에 X선 광전자를 조사시켰을때 방출된 전자를
분석하여 시료표면의 정성,정량 및 원소의 화학결합상태를
측정
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주요성능 |
1. Electron Analyser, Transfer lens and detector
- Double focusing hemispherical analyser,
mean radius 125mm
- Multi element input lens
- 128channel detector
- Computer controlled crystal alignment
2. Combined low-energy electron/Ion flood source
for charge neutralisation
- Low energy-spread, high bightness electron source
- High precision gas inlet for inert gas admission
- Differential pumping
3. Argon ion source for Depth profiling, Specimen cleaning
- High precision leak rate gas inlet
- Automated beam alignment and focusing
4. Specimen Viewing
- high performance color optical system
- Three alignment views are always available
- Two types of samples illumination are provided.
5. 4-axis specimen stage
- Automated specimen stage with internal
stepper motors.
- Three multi-specimen mounting plates
- One mounting plate for powder samples
- One set of three rotation holders |
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용 도 |
-반도체 표상 및 성분 분석
-촉매, 세라믹등의 산화상태 확인
-시료 표면의 정성, 정량 분석
-고분자 복합재료 연구 |
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담당자 |
함현숙 |
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담당자 연락처 |
031-201-3977 |
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위 치 |
분석기기실1 (공대 121호) |
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사용요금 (외부는 2배적용)
| 내용 |
금액 |
단위 |
| 기본분석 |
50000 |
포인트(원소5개) |
| 추가분석 (기본) |
10000 |
포인트(원소1개) |
| Depth Profile |
120000 |
포인트(원소3개) |
| 추가분석 (Depth Profile) |
50000 |
포인트(원소1개) |
| Ar Ethching |
20000 |
회 |
| 시료 전처리 (Pumping Time) |
30000 |
회(24h) |
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기타사항 |
* 분말시료 분석시 pumping 시간에 따라 추가 사용료 징수 (30,000원/24h)
* Ar 에칭 추가시 10,000원/회 |
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