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장비명 투과전자현미경 (FE-TEM)
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영문명 Field Emission Transmission Electron Microscopy
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모델명 |
JEM-2100F (JEOL) |
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원 리 |
전자총에서 발생된 전자빔을 집속시켜 시료의
미세영역에 조사한 다음 시료를 투과한 전자들이
전자장을 이용하여 확대시킨 후 형광판에 비춰진
이미지를 관측,분석하는 장치
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주요성능 |
1. Electron Gun : 80 - 200㎸ FEG
2. Resolution : Point in TEM Mode 0.23㎚
Lattice in TEM Mode 0.1nm
3. Objective Lens : Focal length 2.3㎜
Spherical aberration 1.0㎜
Chromatic aberration 1.4㎜
Minimum step 1.4㎚
4. Magnification : MAG Mode × 1,500 ~ 1,500,000
Low MAG Mode × 50 ~ 6,000
5. Specimen tilt : ±35°/±30°(X/Y)
6. STEM Mode : Lattice Resolution 0.2㎚
Magnification × 10,000,000
BF and HAADF detector
7. CCD camera : XAROSA EMSIS
8. EDS : Oxford INCA
Resolution 30㎟ 136eV at Mn Kα
5B to 92U |
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용 도 |
가공된 재료 및 바이오 시료의 미소영역 상 관찰
결정구조 해석 및 조성 분석
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담당자 |
안현정 |
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담당자 연락처 |
031-201-3984 |
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위 치 |
TEM실 (공대 124호) |
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사용요금 (외부는 2배적용)
| 내용 |
금액 |
단위 |
| 이미지관찰 |
90000 |
시간 |
| EDS분석 |
20000 |
회(최대 30분) |
| Powder Sampling |
5300 |
시료 |
| Cu Grid |
4200 |
개수 |
| Ni Grid |
5300 |
개수 |
| Lacey Grid |
8400 |
개수 |
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기타사항 |
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