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코드 장비명 영문명 모델명▲ 부서명
31 부품가공신청Parts Processing 공동기기원
231 투명전극증착기Sputter디스플레이부품소재RIC
232 플라즈마 화학기상 증착기PECVD/ALD디스플레이부품소재RIC
234 기판세정기디스플레이부품소재RIC
236 마스크 얼라이너Mask Aligner디스플레이부품소재RIC
237 스핀디벨로퍼(Spin)Developer디스플레이부품소재RIC
238 습식식각장비Wet Etcher디스플레이부품소재RIC
241 그래픽 스핀코터(Graphic)Spin Coater디스플레이부품소재RIC
242 액정주입기디스플레이부품소재RIC
248 산소투과 측정기디스플레이부품소재RIC
249 표면단차측정기Surface Profiler디스플레이부품소재RIC
250 주사탐침현미경 AFM 디스플레이부품소재RIC
251 주사전자현미경(Tabletop형)Tabletop SEM디스플레이부품소재RIC
252 패턴 검사 현미경디스플레이부품소재RIC
253 켈빈프로브Kelvin Probe디스플레이부품소재RIC
254 굴절율/복굴절 분석기Prism Coupler디스플레이부품소재RIC
255 점도계Viscometer디스플레이부품소재RIC
256 열기계분석기TMA디스플레이부품소재RIC
257 열중량분석기TGA디스플레이부품소재RIC
260 형광분광계디스플레이부품소재RIC
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관리자