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장비명
그래픽 스핀코터
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영문명
(Graphic)Spin Coater
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모델명 |
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원 리 |
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주요성능 |
- Wafer Size(Max.) : ~ 100mm (4) Diameter (저속 6")
- Bowl Size(내경) : SUS 235 m/m
- BLDC Servo Motor (Speed Up & Down free: 특수구동모터)
- Step : 100, Memory Storage : 100 Program
- Rotation Speed : 0 to 50 ~ 8000 rpm
- Run Time : 1~999sec
- Accuracy : ±1 R.P.M
- 3,000 RPM /sec (가감속도)
- Vacuum Input : -450 ~ -650mmHg (6mm ID / 8mm OD)
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용 도 |
스핀방식을 이용한 다양한 유기물의 박막도포를 위한 공정장비로서 100mm X 100mm 사이즈의 기판을 최대 8,000 RPM으로 코팅이 가능하며 비교적 소형으로 조작이 간편한 장점이 있다. |
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보유부서 |
디스플레이 부품소재 지역혁신센터 |
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담당자 연락처 |
031-201-3295~3296 |
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사용요금 |
협의 후 결정 |
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기타사항 |
기타사항 : 홈페이지 시스템 상 장비예약 신청(www.ric-camid.re.kr)
장비관련 자료(http://core-aomd.khu.ac.kr) |
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