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장비명 플렉시블 OLED용 진공 증착기
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영문명 Vacuum Evaporator for Flexible OLED
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모델명 |
CETUS OL100 |
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원 리 |
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주요성능 |
1. Substrate size : 100mm±0.05mmX100mm±0.05mm (t : 0.3~1.1mm±0.02mm)
Tag glass can be handled with special Jig.
2. Loading capacity : Glass 1EA
3. Chamber type : Square & Vertical
4. Plasma type : ICP
5. Plasma source : RF Power
- Output : 300 W
- Frequency : 13.56 MHz
- Power supply and Matching box 일체형 With Matching network
6. Hi-vac. pump : TMP ( ~400L/sec )
7. Low-vac. pump : Rotary pump
8. Process Pressure : ≤ 5.0×E-6 torr/min (2시간이내)
9. MFC :
- Ar : 200 sccm
- O2 : 50 sccm
- N2 : 200 sccm
10. Pressure Control : Auto pressure control by Throttle Valve With Baratron gauge
11. Vacuum gauge : Full range gauge
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용 도 |
열증착법을 이용하여 유기물 및 금속을 진공증착하기 위한 장비로, 진공상태에서 기판을 로딩하여 OLED소자를 제작할 수 있으며, 유기물 증착시 Co-Deposition이 가능하여 다양한 OLED소자제작에 활용될 수 있다 |
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보유부서 |
디스플레이 부품소재 지역혁신센터 |
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담당자 연락처 |
031-201-3295~3296 |
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사용요금 |
협의 후 결정 |
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기타사항 |
기타사항 : 홈페이지 시스템 상 장비예약 신청(www.ric-camid.re.kr) 장비관련 자료(http://core-aomd.khu.ac.kr) |
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