장비명 투과전자현미경 영문명 Field Emission Transmission Electron Microscopy (FE-TEM)      모델명 JEM-2100F (JEOL) 원 리 전자총에서 발생된 전자빔을 집속시켜 시료의 미세영역에 조사한 다음 시료를 투과한 전자들이 전자장을 이용하여 확대시킨 후 형광판에 비춰진 이미지를 관측,분석하는 장치 주요성능 1. Electron Gun : 80 - 200㎸ FEG 2. Resolution : Point in TEM Mode 0.23㎚ Lattice in TEM Mode 0.1nm 3. Objective Lens : Focal length 2.3㎜ Spherical aberration 1.0㎜ Chromatic aberration 1.4㎜ Minimum step 1.4㎚ 4. Magnification : MAG Mode × 1,500 ～ 1,500,000 Low MAG Mode × 50 ～ 6,000 5. Specimen tilt : ±35°/±30°(X/Y) 6. STEM Mode : Lattice Resolution 0.2㎚ Magnification × 10,000,000 BF and HAADF detector 7. CCD camera : 2K × 2K Gatan Ultra Scan 1000 8. EDS : Oxford INCA Resolution 30㎟ 136eV at Mn Kα 5B to 92U 용 도 가공된 재료 및 바이오 시료의 미소영역 상 관찰 결정구조 해석 및 조성 분석 보유부서 TEM실 (공대 124호) 담당자 - - 담당자 연락처 031-201-3983 사용요금 http://crf.khu.ac.kr/equipment/index.htm 기타사항 http://crf.khu.ac.kr (온라인 사용 신청)