주요성능 |
나노기술과 바이오기술의 접목을 위하여 나노칩 제조를 위한 polymer의 표면 처리 및 물성 개선과 나노칩에 집적될 바이오 소재의 물성 향상을 위한 처리 장치 Polymer의 표면 cleaning, Polymer의 표면 재구성, Polymer의 표면 박탈, Sterilization, 접착향상, 바이오 소재의 wetting properties 개선, 저마찰 및 장벽의 coating, Biocompatibility 향상
- Expanded Plasma Cleaner
Size : 11inch (H) x 18inch (W) x 9inch (D)
- Vacuum pump - minimum pumping speed : 1.4㎥/hr
Ultimate total pressure : 0.2 torr or less
- Plasma Flo - weight : 12lbs
Size : 10 1/2inch (H) x 8inch (W) x 8inch (D)
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