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모델명 |
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원 리 |
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주요성능 |
* Work Size: 6" X 6"
* Mega Sonic System
- Frequency: 1M ~ 1.6MHz
- Nozzle Arm
* 방 식: 회전도포식 1Head
* Work 고정방식: 진공흡착
* 최대RPM: >5000RPM
* 회전제어: Computer
* 용액 Dispensing 장치
* Dispenser Pressure Control
* Dispenser 구동
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용 도 |
Glass 기판 혹은 silicon wafer 등을 고속으로 회전시키면서 알카리 세정액 또는 DI water를 분사하고 mega sonic을 이용하여 세정하는 장비이다. Substrate 상의 particle을 효과적으로 제거하고, 세정 공정 후 기판 표면의 DI water를 고속 spin dry로 건조시켜 얼룩 발생을 억제한다. |
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보유부서 |
디스플레이 부품소재 지역혁신센터 |
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담당자 연락처 |
031-201-3295~3296 |
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사용요금 |
협의 후 결정 |
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기타사항 |
기타사항 : 홈페이지 시스템 상 장비예약 신청(www.ric-camid.re.kr) 장비관련 자료(http://core-aomd.khu.ac.kr) |
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