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모델명 |
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원 리 |
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주요성능 |
AFM(주사탐침현미경)
유기, 고분자 및 무기시료의 나노표면 형상 분석
문의 : 김은혜 연구원 (031-201-3295) skysm902@khu.ac.kr
제조사 : 미국(Tecsco)
캔틸레버를 이용하여 원자간에 작용하는 척력과 인력의 작용(van der waals force)에 의해 다양한 반도체 소재 및 박막의 표면분석에 활용된다. 표면의 마찰력과 같은 물리적 표면 특성 뿐만 아니라 bias를 인가하여 전기적인 표면 특성을 분석할 수 있다.
Measurements Techniques
- Tapping Mode in air
- Non-Contact Mode
- Contact Mode AFM
- Lateral Force Microscopy(LFM)
- Electric Force Microscopy(EFM)
- Conductive AFM
Sample Size
- Up to 150mm diameter
- Up to 12mm thick
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용 도 |
캔틸레버를 이용하여 원자간에 작용하는 척력과 인력의 작용(van der waals force)에 의해 다양한 반도체 소재 및 박막의 표면분석에 활용된다. 표면의 마찰력과 같은 물리적 표면 특성 뿐만 아니라 bias를 인가하여 전기적인 표면 특성을 분석할 수 있다. |
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보유부서 |
디스플레이 부품소재 지역혁신센터 |
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담당자 연락처 |
031-201-3295~3296 |
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사용요금 |
협의 후 결정 |
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기타사항 |
기타사항 : 홈페이지 시스템 상 장비예약 신청(www.ric-camid.re.kr) 장비관련 자료(http://core-aomd.khu.ac.kr) |
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