장비명 분광타원해석기 영문명 Spectroscopic Ellipsometer      모델명 V-VASE (Woollam, USA) 원 리 주어진 물질 표면에 입사된 빛이 입사각, 파장, 편광 등에 따라서 투과, 반사, 편광이 달라지는 성질을 이용하여 박막의 굴절률 및 두께 등을 측정 주요성능 - Spectral range : 193 ∼ 1700 ㎚ - Vertical sample stage with automated angle : 20 ∼ 90 ° - Double monochromator with superior stray-light rejection 용 도 - 박막의 복소 굴절률 및 복소 유전율 측정 - 박막의 두께 측정 - 박막의 조성비 측정 보유부서 분석기기실1 (공과대학관123호) 담당자 - - 담당자 연락처 031-201-3985 사용요금 http://crf.khu.ac.kr/equipment/index.htm 기타사항 http://crf.khu.ac.kr (온라인 사용 신청)