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장비명
전계방출형주사전자현미경
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영문명
Field Emission Scanning Electron Microscope (FE-SEM)
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모델명 |
LEO SUPRA 55 (Carl Zeiss, Germany) |
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원 리 |
일반적인 현미경인 열전자방출방식의 Gun과 달리 electron source인 filament metal 표면에 강한 electric field를 걸어주어 전자를 방출시키는
gun type의 현미경
EDX (Energy Dispersive X-ray Spectrometer)
전자가 시료와 충돌한 후 방출되는 X-ray를 감지하여 시료의 성분 원소를 정량 ·정성적 분석
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주요성능 |
- GENESIS 2000 (EDAX, USA)
- Electron Gun : Thermal field emission type
- Resolution : 1.0 nm @15kV
1.7 nm @1kV
4.0 nm @0.1kV
- Magnification : 12x to 900,000x |
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용 도 |
- 고해상도를 요구하는 박막재료
- 나노파티클의 관찰 및 성분분석
- 폴리머의 표면 관찰 |
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보유부서 |
연구실험지원센터 SEM/EDX실 (공과대학관121호) |
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담당자 |
- - |
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담당자 연락처 |
031-201-3983 |
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기타사항 |
http://crf.khu.ac.kr (온라인 사용 신청) |
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