장비명 분광타원해석기 영문명 Vacuum UV Spectroscopic Ellipsometer      모델명 VUV-VASE VU-302 (J.A.Woollam, USA) 원 리 물질의 표면에 빛을 입사하여 그 반사되는 정도를 측정 하여 표면을 분석하는 장치 주요성능 - Spectral Range : 145 ~ 1700 nm(0.72 to 8.5eV) - Automated Angle : 35 ~ 90° / Accuracy : 0.01° - Environment : Purged with nitrogen/Vertical sample mount - System Configuration * Source : Deuterium, Xenon Lamp * Monochromator * Polarizer * AutoReader * Sample Analyzer * Detector 용 도 물질의 표면분석(두께, n, k, R, T%...) 보유부서 중앙기기센터 (서울C 문리과대학 서관 2층 201A/202/203호) 담당자 - - 담당자 연락처 02-961-0215 사용요금 - 교 내 시간당 10,000 - 타 대 시간당 15,000 - 기업체 시간당 20,000 1. 분석(n,k,두께등)은 사용자 직접실행 2. 분석용 S/W 무료지원/분석시간 무료 기타사항 145~200nm 영역에서는 Vacuum 으로 인한 측정시간이 약 30분씩 추가소요. 자료분석은 본인이 직접시행. 전화(02-961-0215) 또는 인터넷 예약 http://clia.khu.ac.kr/