장비명 플렉시블 OLED용 진공 증착기 영문명 Vacuum Evaporator for Flexible OLED      모델명 CETUS OL100 원 리 - 주요성능 1. Substrate size : 100mm±0.05mmX100mm±0.05mm (t : 0.3~1.1mm±0.02mm) Tag glass can be handled with special Jig. 2. Loading capacity : Glass 1EA 3. Chamber type : Square & Vertical 4. Plasma type : ICP 5. Plasma source : RF Power - Output : 300 W - Frequency : 13.56 MHz - Power supply and Matching box 일체형 With Matching network 6. Hi-vac. pump : TMP ( ~400L/sec ) 7. Low-vac. pump : Rotary pump 8. Process Pressure : ≤ 5.0×E-6 torr/min (2시간이내) 9. MFC : - Ar : 200 sccm - O2 : 50 sccm - N2 : 200 sccm 10. Pressure Control : Auto pressure control by Throttle Valve With Baratron gauge 11. Vacuum gauge : Full range gauge 용 도 열증착법을 이용하여 유기물 및 금속을 진공증착하기 위한 장비로, 진공상태에서 기판을 로딩하여 OLED소자를 제작할 수 있으며, 유기물 증착시 Co-Deposition이 가능하여 다양한 OLED소자제작에 활용될 수 있다 보유부서 디스플레이 부품소재 지역혁신센터 담당자 tic@khu.ac.kr 담당자 연락처 031-201-3295~3296 사용요금 협의 후 결정 기타사항 기타사항 : 홈페이지 시스템 상 장비예약 신청(www.ric-camid.re.kr) 장비관련 자료(http://core-aomd.khu.ac.kr)