장비명 기판세정기 영문명      모델명 원 리 주요성능 * Work Size: 6" X 6" * Mega Sonic System - Frequency: 1M ~ 1.6MHz - Nozzle Arm * 방 식: 회전도포식 1Head * Work 고정방식: 진공흡착 * 최대RPM: >5000RPM * 회전제어: Computer * 용액 Dispensing 장치 * Dispenser Pressure Control * Dispenser 구동 용 도 Glass 기판 혹은 silicon wafer 등을 고속으로 회전시키면서 알카리 세정액 또는 DI water를 분사하고 mega sonic을 이용하여 세정하는 장비이다. Substrate 상의 particle을 효과적으로 제거하고, 세정 공정 후 기판 표면의 DI water를 고속 spin dry로 건조시켜 얼룩 발생을 억제한다. 보유부서 디스플레이 부품소재 지역혁신센터 담당자 tic@khu.ac.kr 담당자 연락처 031-201-3295~3296 사용요금 협의 후 결정 기타사항 기타사항 : 홈페이지 시스템 상 장비예약 신청(www.ric-camid.re.kr) 장비관련 자료(http://core-aomd.khu.ac.kr)