| |
|
|
| |
![]() |
모델명 |
|
|
![]() |
|
원 리 |
|
|
![]() |
|
주요성능 |
* Work Size: 6" X 6"
* 방 식: Spin Etching 방식
* Spin Table 교환: Head 착탈식
* Spin Speed: 3 Steps - 저, 중, 고(Max. 250rpm)
* Spin Table 재질: Teflon
* Etching액 주입방법
- 처리액: 정량Pump (자동)
|
|
![]() |
|
용 도 |
유리기판이나 웨이퍼에 형성된 패턴대로 필요한 부분을 선택적으로 깍아 내는 장비로서 기판 loading table이 회전하면서 etching하는 방식을 사용한다. |
|
![]() |
|
보유부서 |
디스플레이 부품소재 지역혁신센터 |
|
![]() |
|
|
![]() |
|
담당자 연락처 |
031-201-3295~3296 |
|
![]() |
|
사용요금 |
협의 후 결정 |
|
![]() |
|
기타사항 |
기타사항 : 홈페이지 시스템 상 장비예약 신청(www.ric-camid.re.kr)
장비관련 자료(http://core-aomd.khu.ac.kr) |
|
![]() |
| |
|
