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장비명
표면단차측정기
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영문명
Surface Profiler
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모델명 |
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원 리 |
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주요성능 |
- Step Height Repeatability: Guaranteed 6 angstrom, 1 sigma
- Unique Linear Scan
- Step Detection Feature
- Scan Length Range: 50um to 55mm
- Vertical Measurement Range: 524um maximum( 1mm maximum optional)
- Stylus Replacement: Exclusive quick-change
- Stylus Force: Programmable stylus force from 1-15mg
- Sensor Technology: Exclusive LIS 3 sensor with linear variable
differential transfomer(LVDT) with1Angstrom resolution.
- Maxiumum Data Points: 60,000 data points per scan
- CCD Camera : Color 160x magnification video (optical 100x to
640x zoom optional)
- Analytical Software: 30 analytical funtion for calculating step
height, geometries, roughness and waviness parameters
- Environmental Enclosure
scan area form air currents, accoustic noise and contamination
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용 도 |
스타일러스가 시료를 scan하면서 코팅된 박막의 두께, 표면 거칠기 등의 시료의 표면특성을 분석하는데 사용된다. |
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보유부서 |
디스플레이 부품소재 지역혁신센터 |
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담당자 연락처 |
031-201-3295~3296 |
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사용요금 |
협의 후 결정 |
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기타사항 |
기타사항 : 홈페이지 시스템 상 장비예약 신청(www.ric-camid.re.kr)
장비관련 자료(http://core-aomd.khu.ac.kr) |
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