장비명 주사탐침현미경 영문명 AFM      모델명 원 리 주요성능 AFM(주사탐침현미경) 유기, 고분자 및 무기시료의 나노표면 형상 분석 문의 : 김은혜 연구원 (031-201-3295) skysm902@khu.ac.kr 제조사 : 미국(Tecsco) 캔틸레버를 이용하여 원자간에 작용하는 척력과 인력의 작용(van der waals force)에 의해 다양한 반도체 소재 및 박막의 표면분석에 활용된다. 표면의 마찰력과 같은 물리적 표면 특성 뿐만 아니라 bias를 인가하여 전기적인 표면 특성을 분석할 수 있다. Measurements Techniques - Tapping Mode in air - Non-Contact Mode - Contact Mode AFM - Lateral Force Microscopy(LFM) - Electric Force Microscopy(EFM) - Conductive AFM Sample Size - Up to 150mm diameter - Up to 12mm thick 용 도 캔틸레버를 이용하여 원자간에 작용하는 척력과 인력의 작용(van der waals force)에 의해 다양한 반도체 소재 및 박막의 표면분석에 활용된다. 표면의 마찰력과 같은 물리적 표면 특성 뿐만 아니라 bias를 인가하여 전기적인 표면 특성을 분석할 수 있다. 보유부서 디스플레이 부품소재 지역혁신센터 담당자 tic@khu.ac.kr 담당자 연락처 031-201-3295~3296 사용요금 협의 후 결정 기타사항 기타사항 : 홈페이지 시스템 상 장비예약 신청(www.ric-camid.re.kr) 장비관련 자료(http://core-aomd.khu.ac.kr)