장비명
주사전자현미경(Tabletop형)
영문명
Tabletop SEM
  
 
모델명
원 리
주요성능 · Magnification : ×15 ~ ×30,000 · Accelerating voltage : 5kV, 15kV · Observation mode : Standard mode, charge up reduction mode · sample stage traverse : X, Y 0 to 17.5mm · Maximum specimen size : 70mm dia. × 50mm height
용 도 저진공 상태에서 미세 시료의 표면형상을 관찰하기 위한 장비로, 금속 코팅 없이 도전성이 없는 시료에 대한 관찰이 가능하다.
보유부서 디스플레이 부품소재 지역혁신센터
담당자 tic@khu.ac.kr
담당자 연락처 031-201-3295~3296
사용요금 협의 후 결정
기타사항 기타사항 : 홈페이지 시스템 상 장비예약 신청(www.ric-camid.re.kr)
장비관련 자료(http://core-aomd.khu.ac.kr)