장비명
패턴 검사 현미경
영문명
  
 
모델명
원 리
주요성능 Microscope body type 1 with manual Z-axis mechanism for 3-axis counter 100mmX100mm stage for STM6 Neutral density filter 360-dedree rotation analyzer slider for reflected illumination tube Polarizer slider for reflected illumination tube UM Plan Semi Apochromat BD objective 5X/0.15, W.D. 12.0 UM Plan Semi Apochromat BD objective 10X/0.30, W.D. 6.5 UM Plan Semi Apochromat BD objective 20X/0.46, W.D. 3.0 Long working distance M Plan Semi Apochromat objective 50X/0.50, W.D. 10.6 Long working distance M Plan Semi Apochromat objective 100X/0.80, W.D. 3.4
용 도 Photolithography 공정을 지난 후 형성된 전극 패턴의 형성 여부 및 결함등을 정밀하게 관찰하여 검사하는 데 사용된다.
보유부서 디스플레이 부품소재 지역혁신센터
담당자 tic@khu.ac.kr
담당자 연락처 031-201-3295~3296
사용요금 협의 후 결정
기타사항 기타사항 : 홈페이지 시스템 상 장비예약 신청(www.ric-camid.re.kr)
장비관련 자료(http://core-aomd.khu.ac.kr)