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장비명 분광타원해석기
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영문명 Spectroscopic Ellipsometer
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모델명 |
V-VASE (Woollam, USA) |
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원 리 |
주어진 물질 표면에 입사된 빛이 입사각, 파장, 편광 등에 따라서 투과, 반사, 편광이 달라지는 성질을 이용하여 박막의 굴절률 및 두께 등을 측정 |
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주요성능 |
- Spectral range : 193 ∼ 1700 ㎚
- Vertical sample stage with automated angle :
20 ∼ 90 °
- Double monochromator with superior
stray-light rejection |
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용 도 |
- 박막의 복소 굴절률 및 복소 유전율 측정
- 박막의 두께 측정
- 박막의 조성비 측정 |
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보유부서 |
분석기기실1 (공과대학관123호) |
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담당자 |
- - |
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담당자 연락처 |
031-201-3985 |
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사용요금 |
http://crf.khu.ac.kr/equipment/index.htm |
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기타사항 |
http://crf.khu.ac.kr (온라인 사용 신청)
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