장비명 플라즈마클리너 영문명 Plasma Cleaner      모델명 Plasmatic systems, USA 원 리 Gas를 공급하여 plasma를 발생시켜 기판 세정을 돕는다 주요성능 ■ Water cooled reactor (Plasma-preen II 973 with 9inch X 7inch X 3inch reaction chamber) Includes following items : Power supply(115VAC 15Amp service grounded), flow meter with needle valve, Vent valve, time control, duty cycle control reaction chamber ■ Vaccum pump(Model 205SDMLAM) with 4lbs. Non-combustible oil, anti-suck back valve, oil mist eliminator, all fittings and universal motor ■ Water recirculating unit ■ Gas control panel Ion trap (Faraday cage to protect sensitive components) 용 도 보유부서 디스플레이 부품소재 지역혁신센터 담당자 tic@khu.ac.kr 담당자 연락처 031-201-3295~3296 사용요금 협의 후 결정 기타사항 기타사항 : 홈페이지 시스템 상 장비예약 신청(www.ric-camid.re.kr) 장비관련 자료(http://core-aomd.khu.ac.kr)